TPM có nguồn gốc phát triển từ Bảo dưỡng phòng ngừa vào năm 1951 của người Nhật. Tuy nhiên khái niệm Bảo dưỡng phòng ngừa lại được hình thành từ Mỹ. Đây là chiếc nôi đầu tiên giới thiệu chương trình Bảo dưỡng phòng ngừa vào năm 1960. Đây là một chương trình hỗ trợ người vận hành và Bảo dưỡng thiết bị. Tuy nhiên, khi thiết bị ngày càng tự động và phát triển hơn, vấn đề Bảo dưỡng thiết bị theo kiểu truyền thống trở nên không hiệu quả vì đòi hỏi nhân lực Bảo dưỡng nhiều hơn, thường xuyên hơn.

Do đó, bộ phận quản lý quyết định cho người vận hành thực hiện các động tác như: kiểm tra, bảo dưỡng thiết bị, mà các tác vụ kiểm tra đó có tần suất ngắn hạn, thường xuyên hay còn gọi là tự Bảo dưỡng, một phần cốt yếu của TPM ngày nay. Theo thời gian, thiết bị ngày một được cải tiến hơn, có độ tin cậy cao hơn. Từ đó, phương pháp Bảo dưỡng hiệu suất ra đời.
Đến năm 1971 Viện Bảo dưỡng nhà máy Nhật Bản đề xuất triển khai. Sau một thời gian áp dụng quản lý chất lượng toàn diện TQM - Total Quality Management và phương pháp làm đúng lúc - JIT - Just In Time, người ta nhận thấy lĩnh vực Bảo dưỡng thiết bị trong quá trình sản xuất chưa được quan tâm đúng mức, trong khi ở Mỹ, nó đã trở thành một nhân tố không thể thiếu trong sản xuất và nguyên tắc về Bảo dưỡng đã trở thành một triết lý “no maintenance, no operation” – “không có bảo dưỡng – không có hoạt động”.
Từ nhận thức đó, các công ty Nhật đã kết hợp tinh thần quản lý chất lượng của Nhật với tính hiệu quả của Bảo dưỡng kiểu Mỹ, họ đúc kết thành lý thuyết quản lý TPM và đưa vào Nhật sử dụng. Dần dần TPM đã được triển khai phổ biến trong các công ty và xí nghiệp tại Nhật.
Ngày nay TPM đã được áp dụng phổ biến trong các lĩnh vực TPM văn phòng và TPM kỹ thuật, đồng thời giá trị của nó cũng vươn dài ra từ Bảo dưỡng đến quản lý ở các nước như Mỹ, Hàn Quốc và Trung Quốc, đặc biệt là ở Nhật Bản. Mục tiêu của Bảo dưỡng hiệu suất là tối đa hóa sự sẵn sàng của thiết bị, sử dụng thiết bị đạt hiệu suất và hiệu quả cao nhất với chi phí thấp nhất.